Ликвидация_технической_безграмотности #103 | PVD – Физическое осаждение из паровой фазы
PVD – Физическое осаждение из паровой фазы Пластины загружаются в камеру на вращающихся приспособлениях. Металлические мишени помещаются на стенку камеры. Основной компонент – это титан (Ti). Мишени нагреваются до температуры, при которой металл ионизируется. С помощью газа заряженные ионы переносятся от мишеней к пластине. Так как пластина холоднее, ионы конденсируются на поверхности пластины, формируя покрытия.… Читать далее »