Ликвидация_технической_безграмотности #102 | CVD – Химическое осаждение из паровой фазы

CVD – Химическое осаждение из паровой фазы

Пластины на подносах или сетках помещаются в печь, в камеру которой подается серия газов, затем трубки очищаются, и подается другая серия газов, Этот процесс повторяется, пока не сформируется многослойное покрытие. Процесс осуществляется при температуре около 900 °С в среднем в течении 30 часов. Толщина покрытия приблизительно 2-12 мкм.